Автомат «Зонд-5А» предназначен для контактирования при межоперационном контроле параметров интегральных структур на подложке с максимальным размеров контактной площадки 80×80 мм.

Автоматы «Зонд-А1», «Зонд-А4», «Зонд-А4М» и «Зонд-А5» выпускались на заводе «Эллар» в городе Рига Латвийской СССР в 1970-е и 1980-е годы.
Технические характеристики
Режим работы — наладочный автоматический.
Кинематическая производительность при шаге координатного стола 1мм — до 35000 цикл/час.
Количество устанавливаемых зондовых головок — 60.
Количество маркирующих головок – 4.
Ход координатного стола в рабочей зоне — 120х120 мм.
Диапазон регулирования шага перемещений предметного стола с дискретностью 0.01мм — 0,5……9,99мм.
Погрешность перемещения координатного стола ± 0,012 мм.
Максимальная скорость перемещения — 40 мм/с.
Высота подъема предметного стола — 0,3 ± 0,02 мм.
Непараллельность рабочей поверхности координатного стола относительно плоскости его перемещения — не более ± 0,001 мм.
Наименьшее расстояние между двумя соседними зондами – 0,3мм
Электрическое сопротивление изоляции между измерительными цепям головок – не менее 5х109 Ом.